超净高纯硫酸检测方法 超净高纯硫酸检测标准规范 硫酸含量检测

超净高纯硫酸检测：半导体产业质量保障关键

一、超净高纯硫酸概述

超净高纯硫酸由工业硫酸或三氧化硫制得，是半导体工业常用八大化学试剂之一，消耗量居第三，主要用于硅晶片清洗、光刻、腐蚀及印刷电路板的腐蚀与电镀清洗。中科检测具备 CMA 和 CNAS 资质，可提供专业检测服务。

二、检测项目

外观与纯度：检测外观是否符合标准，jingque测定硫酸（H₂SO₄）含量，确保纯度达标。

色度：衡量颜色深浅，保证产品色泽纯净。

颗粒检测：分别统计不同粒径（≥1.0μm、≥0.5μm、≥0.3μm、≥0.2μm）颗粒数量，严控颗粒污染。

杂质离子：检测氯化物（Cl）、硝酸盐、磷酸盐、铵盐等阴离子杂质，以及还原高锰酸钾物质（以 SO₂计）。

金属杂质：涵盖铝（Al）、砷（As）、钡（Ba）等多种金属元素，确保金属杂质含量极低。

三、检测标准

HG/T 4559 - 2013：为超净高纯硫酸检测核心标准，规定各项指标技术要求与检测方法。

其他相关标准

GB/T 601 - 603 等：规范标准溶液、杂质测定溶液及制剂制品制备，确保检测试剂准确。

GB/T 605：用于色度测定。

GB/T 8170：统一数值修约与判定规则。

GB/T 9727：针对磷酸盐测定。

GB/T 11446.1：涉及电子级水标准，因超净高纯硫酸生产可能用水。

GB 15346、GB 190：规定包装标志，保障产品运输储存安全。

GB 50073：洁净厂房设计规范，与超净高纯硫酸生产环境相关。

HG/T 3921：明确采样及验收规则，保证样品代表性与检测公正性。